气体质量流量传感器 AWM5000
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AWM5000 系列气体质量流量传感器， 放大， 流量/压力范围：0 SLPM 至 15.0 SLPM; 螺纹端口式， ¼ NPT,AWM5000 系列微桥气体质量流量传
感器采用文丘里管型流量外壳。该系列测量每分钟高达 20 标准公升/每分钟 (SLPM) 的气流，同时产生 2.25" H2O 的最大压降。2微桥芯片直接与
气流接触，大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。
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AWM5000 系列气体质量流量传感器， 放大， 流量/压力范围：0 SLPM 至 15.0 SLPM; 螺纹端口式， ¼ NPT,AWM5000 系列微桥气体质量流量传
感器采用文丘里管型流量外壳。该系列测量每分钟高达 20 标准公升/每分钟 (SLPM) 的气流，同时产生 2.25" H2O 的最大压降。2微桥芯片直接与
气流接触，大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。
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